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过硫酸铵微蚀刻废液电化学再生方法研究
STUDY ON REGENERATION OF AMMONIUM PERSULFATE ETCHING WASTEWATER BY ELECTROCHEMICAL METHOD
摘 要
Abstract
目 录
第1章 绪 论
1.1 蚀刻技术
1.1.1 H2O2/H2SO4微蚀刻液的蚀刻原理
1.1.2 (NH4)2S2O8/H2SO4微蚀刻液的蚀刻原理
1.2 微蚀刻废液的产生及其环境影响
1.3 废液中铜离子的处理方法现状
1.3.1 吸附法
1.3.2 沉淀处理法
1.3.3 萃取法
1.3.4 膜分离法
1.3.5 离子交换法
1.3.6 电解法
1.3.7 废液用来生产产品
1.4 国内外过硫酸铵的合成方法现状
1.4.1 非电解法生产过硫酸铵
1.4.2 电解法生产过硫酸铵
1.5 国内外膜电解再生方法的研究现状
1.6 本课题的研究内容和意义
1.6.1 课题的主要研究内容
1.6.2 本课题研究的意义
第2章 实验材料及方法
2.1.1 实验仪器
2.1.2 实验药品
2.2 实验装置及运行
2.2.1 实验装置设计与制作
2.3 实验方法与测试
2.3.1 循环伏安曲线的测定
2.3.2 过氧化氢测定方法
2.3.3 过硫酸铵与铜离子的测定
2.3.4 电流效率的计算
2.3.5 蚀刻速率的计算方法
第3章 阴极电解法去除铜的优化研究
3.1 前言
3.2 阴极电解法去除铜的优化
3.2.1 阴极材料对去除铜的影响
3.2.2 阳极材料对去除铜的影响
3.2.3 电流密度对去除铜的影响
3.2.4 铜离子对去除铜的影响
3.2.5 硫酸的体积分数对去除铜的影响
3.3 阴极上铜的沉积情况
3.4 (NH4)2S2O8的浓度变化情况
3.5 pH变化情况
3.6 本章小结
第4章 膜电解法阳极原位产(NH4)2S2O8的优化研究
4.1 前言
4.2.1抑制剂对阳极原位产(NH4)2S2O8的影响
4.2.2 KSCN对阳极原位产(NH4)2S2O8的影响
4.2.3 电流密度对阳极原位产(NH4)2S2O8的影响
4.2.4 温度对阳极原位产(NH4)2S2O8的影响
4.2.5 (NH4)2SO4浓度对阳极原位产(NH4)2S2O8的影响
4.2.6 膜对阳极原位产(NH4)2S2O8的影响
4.2.7 硫酸的体积分数对阳极产(NH4)2S2O8的影响
4.3 pH的变化情况
4.4 本章小结
第5章 多次循环再生蚀刻和同步再生蚀刻
5.1 多次循环再生蚀刻的研究
5.1.1 多次循环阴极电解法去除铜
5.1.2 多次循环阳极原位产过硫酸铵
5.1.3 多次循环蚀刻
5.2 同步再生蚀刻的研究
5.2.1 同步再生蚀刻时电流密度的优化
5.2.2 蚀刻时间对蚀刻的影响
5.3 同步与不同步再生时的比较研究
5.3.1 阴极电解法去除铜时的比较
5.3.2 膜电解法阳极产过硫酸铵时的比较
5.4 本章小结
结 论
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文及其他成果
哈尔滨工业大学学位论文原创性声明和使用权限
致 谢
哈尔滨工业大学;
