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五轴联动超精密磨床结构分析及驱动系统设计
STRUCTURE ANALYSIS AND DRIVING SYSTEMDESIGN ON FIVE-AXIS LINKAGE ULTRAPRECISIONGRINDING MACHINE
摘 要
Abstract
目 录
第1 章 绪 论
1.1 课题研究的背景和意义
1.2 国内外研究现状及分析
1.2.1 多轴联动超精密加工机床国内外研究现状
1.2.2 超精密直线运动系统的国内外研究现状
1.3 本课题主要研究内容
第2 章 五轴联动超精密磨床结构设计研究
2.1 引言
2.2 机床功能规划与整体设计准则
2.2.1 五轴超精密磨床的结构设计准则
2.2.2 工件加工要求分析以及机床功能规划
2.2.3 机床整机构型及布局设计
2.3 机床关键运动部件结构设计
2.3.1 进给运动系统结构设计
2.3.2 垂直轴结构设计
2.3.3 五轴超精密机床整体结构设计
2.4 机床几何误差建模分析与精度设计
2.4.1 五轴超精密磨床几何误差分析
2.4.2 齐次坐标变换原理
2.4.3 五轴超精密磨床几何误差建模与精度设计
2.5 本章小结
第3 章五轴联动超精密磨床动态特性仿真分析
3.1 引言
3.2 机床动力学分析理论基础
3.3 液体静压导轨的动态特性分析
3.3.1 液体静压导轨变形仿真分析
3.3.2 液体静压导轨的热变形分析
3.3.3 液体静压导轨的模态特性分析
3.4 垂直轴动态特性分析
3.5 五轴超精密磨床动态特性仿真分析
3.5.1 机床整体静力及模态特性仿真分析
3.5.2 机床整体谐响应特性仿真分析
3.6 本章小结
第4 章 五轴超精密磨床驱动系统研究
4.1 引言
4.2 液体静压丝杠驱动的超精密直线运动系统设计
4.2.1 运动系统机械结构设计与装配
4.2.2 高性能液压站搭建与液压油粘度标定实验
4.2.3 控制系统设计
4.3 运动系统PID 参数调节与控制系统特性分析
4.3.1 控制系统PID 参数调试原理
4.3.2 电流环模式下运动系统性能测试
4.4 系统伺服特性测试
4.4.1 运动系统伺服特性测试与分析
4.4.2 系统运动分辨率测试
4.5 本章小结
结 论
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果
哈尔滨工业大学学位论文原创性声明和使用权限
致 谢
