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摘 要
Abstract
目 录
第1章 绪论
1.1 课题来源及研究的背景和意义
1.2 铝及其合金的特性
1.3.1 热控原理
1.3.2 微弧氧化技术特点
1.3.3 微弧氧化技术在热控膜层中的应用
1.4 导电型热控膜层研究进展
1.4.1 充放电效应
1.4.2 导电型热控膜层分类
1.5 铝掺杂氧化锌薄膜的制备技术
1.5.1 化学气相沉积
1.5.2 溶胶-凝胶
1.5.3 分子束外延
1.5.4 磁控溅射
第2章 实验材料与研究方法
2.1 实验材料及化学药品
2.2.1 微弧氧化实验装置
2.2.2 磁控溅射实验设备
2.2 材料制备工艺流程
2.3.1 铝合金的前处理
2.3.2 微弧氧化膜层制备
2.3.3 复合膜层制备
2.4 膜层结构组成和性能测试方法
2.4.1 扫描电子显微镜及EDS分析
2.4.2 X射线衍射分析（XRD）
2.4.3 X射线光电子能谱分析（XPS）
2.4.4 膜层厚度测试
2.4.5 膜层粗糙度测试
2.4.6 结合强度测试
2.4.7 热控性能测试
2.4.8 电学性能测试
第3章 Al2O3-ZnO膜层的制备及其热控性能研究
3.1 电解液体系的优化
3.1.1 微弧氧化电解液正交试验
3.1.2 正交试验分析
3.1.3 最优电解液组成下膜层的结构和性能
3.2.1 槽压曲线
3.2.2 膜层表面形貌
3.2.3 膜层厚度和粗糙度
3.2.4 膜层热控性能
3.3.1 槽压曲线
3.3.2 膜层表面形貌
3.3.3 膜层厚度和粗糙度
3.3.4 膜层热控性能
3.4添加剂对膜层结构和热控性能的影响
3.4.1 槽压曲线
3.4.2 膜层表面形貌
3.4.3 膜层厚度和粗糙度
3.4.4 膜层物相组成
3.4.5 膜层结合强度
3.4.6 膜层热控性能
3.5 本章小结
第4章 AZO/Al2O3-ZnO复合膜层制备及其性能研究
4.1.1 溅射压强对复合膜层表面形貌的影响
4.1.2 溅射功率对复合膜层表面形貌的影响
4.1.3 基底温度对复合膜层表面形貌的影响
4.1.4 溅射时间对复合膜层表面形貌的影响
4.1.5 复合膜层的表面元素分析
4.1.6 复合膜层的截面元素分析
4.1.7 复合膜层的相组成分析
4.2.1 溅射压强对复合膜层导电性能的影响
4.2.2 溅射功率对复合膜层导电性能的影响
4.2.3 基底温度对复合膜层导电性能的影响
4.2.4 溅射时间对复合膜层导电性能的影响
4.3.1 溅射压强对复合膜层热控性能的影响
4.3.2 溅射功率对复合膜层热控性能的影响
4.3.3 基底温度对复合膜层热控性能的影响
4.3.4 溅射时间对复合膜层热控性能的影响
4.4 本章小结
结 论
参考文献
哈尔滨工业大学学位论文原创性声明和使用权限
致 谢
