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THE DAMAGE DETECTION ANDEXPERIMENTAL VERIFICATION OF OPTICALCRYSTAL SURFACE/SUBSURFACEBASED ON XRD
摘 要
Abstract
第1章 绪 论
1.1 课题的来源
1.2 课题研究的背景和意义
1.3 基于XRD的表面/亚表面损伤的检测方法
1.4 国内外研究现状
1.4.1.表面/亚表面损伤的研究现状
1.4.2 X射线衍射方法的研究现状
1.5 主要研究内容
第2章 GIXRD衍射谱变化规律的理论分析
2.1 引言
2.2 X射线衍射强度理论
2.3 GIXRD衍射谱摇摆曲线理论模型的建立
2.4 GIXRD衍射谱形成的理论分析
2.4.1 理想单晶材料GIXRD衍射谱形成规律研究
2.4.2缺陷晶体GIXRD衍射谱形成规律研究
2.4.2.1具有晶格扭转缺陷晶体GIXRD衍射谱形成规律
2.4.2.2晶面间距变化晶体缺陷衍射谱形成规律研究
2.4.3 混杂缺陷形式GIXRD衍射谱形成规律研究
2.5本章小结
第3章 精密超精密加工光学晶体亚表面损伤GIXRD检测分析
3.1 引言
3.2 样品制作及实验条件
3.2.1 样品的选择与制作
3.2.2 GIXRD实验条件
3.3 理想晶体结构GIXRD衍射谱检测分析
3.4.1 CaF2晶体加工亚表面损伤GIXRD检测分析
3.4.2 GGG晶体加工亚表面损伤GIXRD检测分析
3.5本章小结
第4章 光学晶体加工亚表面损伤层微结构TEM检测分析
4.1引言
4.2 TEM试样制备
4.3.1 CaF2晶体加工亚表面损伤层TEM检测分析
4.3.2 GGG晶体加工亚表面损伤TEM检测分析
4.4损伤层厚度的计算
4.5 本章小结
结 论
参考文献
哈尔滨工业大学学位论文原创性声明和使用权限
致 谢
