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房增华;
哈尔滨工程大学;
纳米级定位平台; 控制器; 积分分离式PID控制; 梳齿静电驱动;
机译:用于超高速纳米级定位的精密平台的多速率PWM控制
机译:MEMS梳齿驱动器性能驱动的微细加工方法研究
机译:环形整形H_∞控制2-DOF压电堆致动平台,用于纳米级定位
机译:硬盘驱动器中的纳米级定位,控制和运动计划。
机译:用于微观应用的欠驱动平台的微定位和控制
机译:MEMS纳米定位平台的设计,原型制作,建模和控制
机译:压电驱动纳米定位平台的非线性控制设计
机译:用于移动和对准安装平台的定位装置,具有相对于基础平台驱动安装平台的驱动装置,使得安装平台的平移自由度由驱动装置限定
机译:方法研究材料结构中的纳米级缺陷
机译:平行,独立驱动和同时驱动的模块化扫描探针显微镜阵列的多刻度耦合定位,可用于柔性,大面积和卷对卷工艺的高通量,在线,纳米级测量
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