封面
声明
中文摘要
英文摘要
目录
第1章 绪论
1.1 研究背景与意义
1.2 国内外研究现状
1.3 本论文的主要工作
第2章 扫描式白光干涉偏振测量原理
2.1 OCDP测试原理
2.2 光学延迟线非理想性对偏振测量结果的影响
2.3 本章小结
第3章 OCDP系统整体方案及其实现
3.1 OCDP整体测试方案
3.2 OCDP系统构成及性能分析
3.3 测试系统软硬件整体设计
3.4 本章小结
第4章 光程扫描位置与均匀性校正
4.1 基于3×3耦合器的干涉解调介绍
4.2 光程扫描均匀性校正算法
4.3 OCDP系统扫描误差校正及扫描位置测量结果
4.4 本章小结
第5章 OCDP系统光电噪声分析与性能优化
5.1 光电噪声分析及电路噪声抑制
5.2 OCDP系统性能指标测试
5.3 OCDP系统典型器件测试结果
5.4 本章小结
结论
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果
致谢