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第一章引言
1.1金刚石的结构和重要性质
1.1.1金刚石及石墨的结晶形式
1.1.2金刚石的主要性质
1.2 CVD金刚石薄膜的结构征及其主要性质
1.2.1金刚石薄膜与类金刚石薄膜的微观结构
1.2.2金刚石薄膜的性质
1.3金刚石薄膜的应用与附着性能的关系
参考文献
第二章影响金刚石薄膜附着性能的要素分析及其表征
2.1切削过程中薄膜的受力分析及薄膜失效机理
2.1.1受力分析
2.1.2失效机理
2.1.3薄膜正常使用的力学要素
2.2力学要素的本质
2.2.1附着力的本质
2.2.2机械锁合力的本质
2.2.3残余热应力的本质
2.2.4主要问题
2.3与金刚石薄膜涂层附着性能相关的物理特性的表征
2.3.1金相显微观察
2.3.2 Raman光谱
2.3.3 X-射线衍射
2.3.4薄膜厚度测量
2.3.5附着性能评估
2.4优化分析
参考文献
第三章模板作用对异构体的选择性生长与化学气相沉积金刚石的生长机理
3.1金刚石气相合成技术特征
3.2现有气相金刚石薄膜生长机理分析
3.2.1低压下气相生长金刚石薄膜的理论模型简介
3.2.2以上理论模型的本质及局限
3.3对金刚石生长过程的动力学热力学的综合描述
3.4模板对异构体生长的选择
3.4.1生命过程稳定性与模板对生化反应中异构体生长的选择性
3.4.2模板作用与金刚石选择性生长
3.4.3模块的作用与反应前驱体的选取
3.5模板的选择作用即模板的动力学控制作用在金刚石生长过程中的体现
3.5.1局域模板与异质成核
3.5.2模板效应与取向生长
3.6结论
参考文献
第四章sp2杂化碳原子的存在形态及含量对薄膜应力的影响
4.1氢的强化刻蚀对金刚石薄膜品质的影响与sp2杂化碳原子的存在形态
4.1.1实验设计思想
4.1.2实验过程
4.1.3结果与讨论
4.1.4结论
4.2化学气相沉积金刚石薄膜品质对薄膜应力和附着性能的影响
4.2.1实验过程
4.2.2结果与讨论
4.2.3结论
参考文献
第五章CVD金刚石薄膜织构特征及其对应力的影响
5.1不同晶粒显露面的对自身的选择生长与金刚石薄膜的织构
5.1.1基体表面预处理
5.1.2金刚石薄膜的制备
5.1.3结果与讨论
5.1.4结论
5.2织构特征对金刚石薄膜应力的影响
5.2.1引言
5.2.2实验方法与过程
5.2.3结果与讨论
5.2.4结论
参考文献
第六章成核密度及薄膜厚度对附着性能的影响
6.1成核密度对附着性能的影响
6.1.1提高成核密度的方法
6.1.2实验过程
6.1.3结果与讨论
6.1.4结论
6.2薄膜厚度对附着性能的影响
6.2.1实验过程
6.2.2结果与讨论
6.2.3结论
参考文献
第七章金刚石薄膜的应用
7.1 CVD金刚石薄膜涂层刀具
7.1.1硬质合金金刚石涂层刀具的研究进展
7.1.2硬质合金刀具的结构特征与影响CVD金刚石涂层附着力的主要因素
7.1.3方案设计
7.1.4实验过程
7.1.5实验结果与讨论
7.1.6结论
7.2铜基体上CVD金刚石厚膜的制备
7.2.1研究背景
7.2.2实验方法与过程
7.2.3结果与讨论
7.2.4结论
7.3铜基体柔性金刚石薄膜的制备
7.3.1实验过程
7.3.2结果与讨论
7.3.3结论
参考文献
第八章总结与展望
博士期间完成的论文
致谢
