声明
第1章 绪 论
1.1 课题研究目的及意义
1.2 单晶硅裂纹扩展过程及机理研究现状
1.3 单晶硅超精密切削裂纹扩展过程及机理研究的不足
1.4 论文主要研究内容
第2章 离散元法及单晶硅(100)晶面离散元模型
2.1 离散元法简介
2.2 PFC2D软件介绍
2.3 单晶硅(100)晶面粘结模型的建立与校准
2.4 小结
第3章 单晶硅超精密切削裂纹扩展物理过程分析
3.1 单晶硅超精密切削离散元模型建立
3.2 切削裂纹扩展形式判定
3.3 残余应力分析
3.4 裂纹扩展过程分析
3.5 本章小结
第4章 晶体缺陷对切削裂纹扩展的影响
4.1 表面微裂纹对裂纹扩展的影响
4.2 空洞对裂纹扩展的影响
4.3 本章小结
第5章 切削参数及刀具参数对裂纹扩展的影响
5.1 切削速度对裂纹扩展的影响
5.2 切削深度对裂纹扩展的影响
5.3 切削刃钝圆半径对裂纹扩展的影响
5.4 刀具前角对裂纹扩展的影响
5.5 本章小结
结论
参考文献
致谢