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目录
第一章 绪论
§1-1 真空开关的介绍
§1-2 选题的背景和意义
§1-3 真空度测量方法综述
§1-4 论文主要工作
第二章 脉冲磁控放电法
§2-1脉冲磁控放电法的基本原理
§2-2放电电流与真空度的关系
§2-3经典磁控法的问题与改进
§2-4 本章小结
第三章 内置式冷阴极规管法
§3-1内置式冷阴极规管法原理
§3-2 冷阴极规管零件材料的选择
§3-3 冷阴极规管的整体结构以及尺寸的确定
§3-4 本章小结
第四章 内置式冷阴极规管的仿真
§4-1 ANSYS的介绍
§4-2 ANSYS电磁场仿真的理论基础
§4-3 基于ANSYS的规管内部静磁场仿真
§4-4 基于ANSYS的静电场仿真
§4-5本章小结
第五章 两种真空度测量方法的综合分析
§5-1 两种测量方法的综合分析
§5-2 真空度测量传感器自校准功能的实现
§5-3 真空度校准曲线的两种处理方法
§5-4 本章小结
第六章 结论与展望
参考文献
致谢
攻读学位期间所取得的相关科研成果