基于X射线量变化评估真空灭弧室真空度的方法

摘要

为了找到一种操作简便且准确度高的方法来进行真空度评估,笔者提出了一种不需外施磁场、利用测量X射线量变化来判断真空灭弧室内部真空度的方法。对于真空灭弧室在指定开距下施加工频电压时,场致发射电子会以很高的速度从阴极表面逸出,在触头间电场的作用下加速轰击阳极,基于轫致辐射的原理会从阳极表面释放出X射线。这时,真空度的差异会使产生的X射线释放强度以及变化情况有所不同,因此,利用测量释放的X射线量的变化可判断真空灭弧室内部的真空度。笔者通过理论分析,得出了X射线量与真空度的关系,并进行了试验验证。