摘要
Contents
第一章 绪论
1.1 引言
1.2 本课题的研究背景
1.3 微细电解加工技术的国内外研究现状
1.3.1 高频脉冲微细电解加工技术
1.3.2 高频脉冲电源的发展概况
1.3.3 微束流电解加工技术
1.3.4 电化学掩膜加工
1.3.5 其他微细电解加工方法
1.4 本课题的研究概况
1.4.1 课题研究目的和意义
1.4.2 课题来源
1.4.3 课题研究内容及目标
第二章 微细电解加工的理论基础
2.1 电化学加工的基本理论
2.1.1 电化学反应过程
2.1.2 电极电位的形成
2.1.3 电极的极化
2.1.4 电解加工机理
2.2 微细电解加工的基础条件
2.2.1 微细电解加工的误差形成
2.2.2 实现微细电解加工的基本技术条件
2.3 高频、窄脉冲电解加工基本原理
2.3.1 微细电解的等效电路分析
2.3.2 超短脉冲电解加工方法
2.4 本章小结
第三章 电源的整体设计和硬件电路设计
3.1 电源的整体设计要求
3.2 电源的整体设计方案
3.3 主电路的设计
3.4 控制电路的设计
3.4.1 驱动放大电路的设计
3.4.2 斩波电路的设计
3.5 检测电路的设计
3.5.1 电解加工间隙检测方法
3.5.2 本电源间隙检测方法
3.6 电源PCB板的制作
3.6.1 PCB设计的一般原则
3.6.2 PCB及电路抗干扰措施
3.7 电源的整机制作
3.8 本章小结
第四章 FPGA的编程设计
4.1 数字电路的设计方法
4.2 编程语言的选择
4.2.1 VHDL语言
4.2.2 Verilog语言
4.3 控制脉冲程序的设计
4.3.1 基准时钟的倍频
4.3.2 脉冲计数的编程
4.3.3 脉冲程序的仿真
4.3.4 脉冲程序的上板调试
4.4 按键程序的设计
4.5 检测程序的设计
4.5.1 检测程序的流程
4.5.2 检测程序的调试
4.6 本章小结
第五章 工艺实验
5.1 微细电极的制作
5.2 微细孔加工实验
5.2.1 脉宽对加工的影响
5.2.2 电压对加工的影响
5.2.3 电解液对加工的影响
5.3 本章小结
结论与展望
参考文献
攻读学位期间发表论文
声明
致谢
广东工业大学;