第一章 绪论
1.1 课题的来源与意义
1.1.1 课题的来源
1.1.2 课题研究的背景及意义
1.2 超精密加工技术的国内外研究现状
1.2.1 化学机械抛光
1.2.2 离子束抛光
1.2.3 气囊抛光
1.2.4 流体动压抛光
1.2.5 磁流变抛光
1.3 本文主要研究内容
第二章 多磨头磁流变抛光加工原理及装置设计
2.1 引言
2.2 多磨头磁流变抛光加工原理
2.3 多磨头磁流变抛光的扫描路径规划及优点
2.4 多磨头磁流变抛光装置总体方案
2.5 抛光装置关键零部件设计和选型
2.5.1 旋转抛光轮及传动装置
2.5.2 磁铁及其装夹装置
2.5.3 磁流变液循环系统
2.6 试验检测方法与设备
2.7 本章小结
第三章 多磨头磁流变抛光磁场的优化设计
3.1 引言
3.2 磁场分布方式的优化
3.2.1 不同磁场分布方式的磁场仿真
3.2.2 不同磁场分布方式的定点抛光试验
3.3 磁极间距的优化
3.3.1 不同磁极间距的磁场仿真
3.3.2 不同磁极间距的定点抛光试验
3.4 本章小结
第四章 多磨头磁流变抛光去除函数及工艺试验研究
4.1 引言
4.2 多磨头磁流变抛光去除函数试验研究
4.3 多磨头磁流变抛光工艺试验设计
4.4 工艺参数对多磨头磁流变抛光去除函数的影响
4.4.1 铁粉浓度的影响
4.4.2 磨料浓度的影响
4.4.3 抛光轮转速的影响
4.4.4 磁流变液流量的影响
4.4.5 加工间隙的影响
4.4.6 摆动距离的影响
4.4.7 加工时间的影响
4.5 本章小结
总结与展望
一.主要结论
二.主要创新点
三.展望
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文
声明
致谢
