声明
1 绪论
1.1 硅钢的分类及应用
1.2 高硅钢简介及Fe-6.5%Si高硅钢的性能特点
1.2.1 磁性能
1.2.2 物理性能
1.3 Fe-6.5%Si高硅钢制备方法国内外研究进展
1.3.1 快速凝固法
1.3.2 沉积扩散法
1.3.3 特殊轧制法
1.4 磁控溅射镀膜
1.4.1 磁控溅射原理
1.4.2 磁控溅射镀膜技术优点
1.5 本论文研究内容的提出
2实验材料及方法
2.1 实验材料
2.2 实验设备
2.3 样品的制备工艺过程
2.4 样品的表征
2.4.1 薄膜厚度测试
2.4.2 微观组织结构分析XRD
2.4.3 形貌观察及能谱分析
2.4.4 磁性能分析
2.4.5 电阻率测试
2.4.6 硬度测试
3 DICTRA软件模拟与设计制备Fe-6.5%Si-1%Al高硅钢
3.1 扩散模拟软件介绍
3.2 Fe-Si-Al三元相图分析及扩散偶组合设计
3.3 模拟Fe-6.5%Si-1%Al 薄板制备及扩散路径
3.4 Fe-Si-Al三元体系中Si、Al共渗的交互作用机制分析
3.5 本章小结
4 磁控溅射沉积富Si（Al）膜制备工艺研究
4.1 镀膜工艺过程描述
4.1.1 基片处理
4.1.2 镀膜操作
4.2 溅射气压对薄膜沉积速率的影响
（1）不同溅射气压下Fe5Si3 合金膜的沉积速率
（2）不同溅射气压下Al 膜的沉积速率
4.3溅射功率对薄膜沉积速率的影响
（1）不同功率条件下Fe5Si3 合金膜的沉积速率
（2）不同功率条件下Al 膜的沉积速率
4.4 制成薄膜的微观形貌
4.5 本章小结
5低硅钢基体硅铝共渗扩散工艺研究
5.1 扩散理论基础
5.2 纯铁基体Si、Al共渗扩散行为研究
5.2.1 纯铁基体Si、Al共渗研究方案
5.2.2 纯铁基体Si、Al共渗扩散行为中扩散温度对渗入效果的影响
5.2.3 纯铁基体Si、Al共渗扩散行为中扩散时间对渗入效果的影响
5.3 低硅钢基体Si、Al共渗扩散行为研究
5.3.1 低硅钢基体Si、Al共渗的研究方案
5.3.2 低硅钢基体Si、Al共渗扩散行为中扩散温度对渗入效果的影响
5.3.3 低硅钢基体Si、Al共渗扩散行为中扩散时间对渗入效果的影响
5.3.4 低硅钢基体Si、Al共渗扩散行为中不同厚度富Si膜渗入效果的影响
5.4 硅铝共渗交互作用机制研究
5.5 本章小结
6 含铝高硅钢制备及性能研究
6.1 Fe-6.5%Si-1%Al高硅钢制备的工艺参数
6.2 增Si处理过程合金组织结构变化
6.3 增Si处理过程合金性能变化
6.3.1 电阻率
6.3.2 磁性能
6.3.3 硬度
6.4 本章小结
结论
致谢
参考文献
攻读学位期间的研究成果
