声明
摘要
第1章 绪论
1.1 表面等离激元概述
1.2 表面等离激元基本性质
1.2.1 表面等离激元
1.2.2 表面等离激元的基本性质
1.3 表面等离激元损耗补偿研究现状
1.4 本论文的研究内容和安排
1.4.1 论文的研究内容
1.4.2 本论文结构
参考文献
第2章 硅表面掺铒氧化硅薄膜的制备及相关波导的工艺探索
2.1 硅表面掺铒氧化硅薄膜的制备工艺及光学性质
2.1.1 研究背景
2.1.2 铒元素的光谱理论
2.1.3 掺铒氧化硅薄膜的溶胶凝胶法制备工艺
2.1.4 掺铒二氧化硅薄膜工艺和光学性质的初步研究和探索
2.1.5 通过反射谱方法测量薄膜厚度和折射率
2.2 等离激元光波导工艺的探索
2.2.1 微纳加工工艺简介
2.2.2 微纳加工工艺的探索
2.3 后续工作研究
2.4 本章小结
参考文献
第3章 覆盖介质层的金属光栅对TE偏振光的共振吸收
3.1 背景介绍
3.2 研究结构和现象
3.3 分析和讨论
3.3.1 MDA层的基模
3.3.2 共振模式的特性和它的激发条件
3.3.3 结构尺寸和入射角度的影响
3.4 光栅结构的影响
3.5 本章小结
参考文献
第4章 总结和展望
攻读学位期间发表的论文
致谢