文摘
英文文摘
声明
1绪论
1.1课题的提出及研究意义
1.2国内外研究现状
1.2.1中心厚度的测量
1.2.2曲率半径的测量
1.2.3应用CCD器件进行尺寸测量的发展状况
1.3本课题研究的主要内容
2测量原理与仪器结构
2.1仪器的测量原理
2.2 CCD测量原理
2.2.1光电转换与储存
2.2.2电荷转移
2.2.3电荷读出
2.3仪器的结构设计
2.3.1仪器总体结构
2.3.2仪器光学系统
2.3.3样品池结构设计
2.3.4恒温控制嵌入结构设计
2.3.5镜片定位机构设计
3系统硬件设计
3.1方案设计
3.2 AT89C52单片机
3.2.1主要性能参数
3.2.2功能特性概述
3.3信号采集电路设计
3.3.1 CCD器件的基本结构和特性
3.3.2 TCD1206SUP的驱动
3.3.3信号二值化
3.3.4信号采集电路
3.4恒温控制系统设计
3.4.1温度控制系统方案的选择
3.4.2 LM35温度传感器
3.4.3 A/D转换器
3.4.4半导体致冷器
3.4.5温控系统电路接口
3.5扩展E2PROM以实现基准存取
3.5.1 I2C总线
3.5.2 E2PROM存储器AT24C02的扩展
3.6 LED显示接口电路
3.6.1 LED显示器结构原理
3.6.2 LED数码管的显示方式
3.6.3 LED显示接口电路
3.7按键接口电路设计
4系统软件设计
4.1主程序
4.2预置程序
4.3测量程序
4.4恒温控制程序
4.5基准存取程序
4.5.1 I2C总线接收和发送数据的实现
4.5.2 AT24C02的读写操作
4.5.3基准储存程序
4.6 LED显示控制程序
5误差分析
5.1误差产生的原因
5.1.1照明斜光束的影响
5.1.2发生衍射的影响
5.1.3光源不稳的影响
5.2消除误差的方法
5.3测量结果
6总结
致 谢
参考文献
附 录