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1绪论
1.1课题背景及意义
1.2尺寸检验测微仪的组成及常用精密小位移传感器概述
1.2.1尺寸检验测微仪的组成
1.2.2电感式位移传感器
1.2.3光栅式位移传感器
1.2.4容栅式位移传感器
1.2.5应变式位移传感器
1.3本文主要研究内容
2应变式位移传感器的工作原理与关键技术问题分析
2.1电阻应变式传感器的物理基础
2.2应变式传感器的工作原理
2.3传感器设计中的关键技术问题分析
2.3.1测头位移Y与应变片应变量ε的计算关系
2.3.2测量力的分析计算
2.3.3测量系统的摩擦力分析与对策
2.3.4应变片电桥电路与温度补偿
3应变式测微仪设计
3.1应变式测微仪的结构设计
3.2应变式传感器的设计
3.2.1传感器设计的重点问题说明
3.2.2电阻应变片的选择及安装
3.3应变测微仪的信号处理电路
3.3.1信号处理电路的组成
3.3.2电子称原理简介
3.3.3应变式电子称放大器用于本项目的可行性计算
4应变式测微仪的测试实验研究
4.1传感器标定的基本方法
4.2传感器静态标定的内容
4.2.1线性度
4.2.2滞后
4.2.3重复性
4.2.4灵敏度
4.3传感器标定试验装置的设计及改进
4.4测试软件设计
4.4.1步进电机的运动控制
4.4.2测试数据的通讯传递
4.4.3测试数据处理
4.4.4程序设计
4.5测试数据处理及结果
5结论
5.1总结
致谢
参考文献
附录