Xerox Palo Alto Research Center, 3333 Coyote Hill Rd, Palo Alto, CA 94304;
机译:通过MEMS加工技术制造类似玻璃的碳模以压印在玻璃材料上
机译:使用MEMS技术制造和评估用于X射线光刻的灰度掩模
机译:利用Mems技术制备和评价X射线光刻用灰度掩模
机译:MEMS材料和大面积制造技术:X射线成像仪的示例
机译:MEMS热界面材料的制造和表征。
机译:基于视觉对准技术的MEMS皮肤摩擦传感器的制作与超音速风洞验证
机译:MEMS技术设计,制作和分析不同材料的微型机器人昆虫的翅膀和胸部
机译:用于弹丸弹药的先进的基于mEms的安全和装备机制的材料,制造和装配技术;会议文件