光放射圧ポテンシャルに基づく3次元微細構造加工に関する基礎的研究: ナノ粒子の２次元局所化性能評価

摘要

微細デバイスや次世代機能部品製造のために必要とされている3次元微細構造の加工技術が求められている。例えば、光学迷彩やスーパーレンズへの応用が期待されているメタマテリアルの創成には数十nmの金属構造で人工誘電体を構成する必要がある。二光子還元法や集束イオンビームなど集光ビームを用いた微細構造加工法がいくつか研究されていた。しかし、100 nm以下の加工分解能を持ち、かつ3次元的に微細構造を加工することの両立は現状どちらの既存技術でも困難である。また、多くの既存手法は溶液中の加工法であり、加工部品を気中に取り出す際、溶液乾燥時の表面張力で構造が崩壊したり変形したりしやすい問題を持つ。