高硬度離型剤フリー樹脂による反射防止構造を持ったレプリカモールドの転写耐久特性

摘要

新開発の樹脂は 350 回目の転写まで転写物の反射率を 1 %未満に抑え、また高い接触角を維持することができた。レプリカモールドの接触角や転写物の反射率から、新開発の樹脂を持ちいて作製したレプリカモールドは従来の樹脂 X433-3で作製したものと比較して高い転写耐久性を有していることが分かった。