低レイノルズ数におけるベンチユリノズル内の衝撃波と境界層の干渉のCFDによる可視化

摘要

流れのチョーク現象を利用した気体用流量測定の規格であるISO9300によって推奨されるベンチユリノズルは，様々な機器を通る気体の質量流量の計測や他の質量流量計の校正装置として幅広く利用されている.しかし，近年，マイクロ ノズルやマイクロバルブ等のMEMS機器の出現により，ISO9300が定めるレイノルズ数の範囲より低いレイノルズ数における質量流量を測る必要性が増加している.