小型Kirkpatrick-Baez ミラー光学系によるX 線ナノ集光システムの開発:小型楕円筒面ミラーの作製と形状評価

摘要

10 nm から0.1 nm 程度の波長域に属する電磁波をX 線と呼ぶ。高輝度、高コヒーレンス性、高指向性を実現する放射光がX 線光源として発展したことで、化学的、構造的、元素的な物性解析にX 線は応用される。X 線の回折限界集光径は10 nm 以下となり、高い計測分解能が期待されるが、これら光源とX 線の性質を十分活用するためには、X 線を集光する光学素子にも高い作製精度が要求される。とりわけ色収差無しで高い利用効率が望める反射型の集光素子は有望だが、表面性状や形状作製精度、素子のアラインメント精度の要求が厳しい。計測分解能向上のために現代科学に不可欠なX 線の1 nm 集光を目標にすると、小さな集光径実現とこれら課題への対処が欠かせない。