Institute of Applied Optics, 18 Kamionkowska St, Warsaw, Pol;
helium atom microscopy; confocal sensors; shape; thickness; flatness measurements;
机译:宽带聚偏二氟乙烯-三氟乙烯线聚焦超声换能器的制造,用于测量(100)硅片的各向异性的表面声波
机译:通过使扫描电子显微镜的电子探针散焦来测量具有近矩形轮廓的硅纳米浮雕元件的线性尺寸
机译:扫描电子显微镜测量物体几何参数的扫描探针的电子探针
机译:氦显微镜聚焦镜硅晶片几何特性的测量
机译:使用激光红外光热辐射法测量半导体硅晶片中的载流子密度波深度轮廓图。
机译:基于实验的轮廓函数用于计算氦聚焦离子束过程引起的块状硅损伤分布
机译:X射线镜像错误对焦点的影响:物理和几何光学仿真测量比较