Centre for Optical and Electromagnetic Research, State Key Laboratory of Modern Optical Instrumentation, Zhejiang University, Hangzhou 310058, China;
Centre for Optical and Electromagnetic Research, State Key Laboratory of Modern Optical Instrumentation, Zhejiang University, Hangzhou 310058, China;
Microstructure fabrication; lithography; micro-optical devices; optical design and fabrication;
机译:通过四梁激光干扰光刻在硅中制造的周期性抗反射表面结构
机译:干涉光刻:制造周期性结构的强大工具
机译:干涉光刻法制备复合聚合物微结构的力学性能
机译:多曝光两束干涉光刻技术制备的新型周期性微结构
机译:通过台式系统中的相干Talbot光刻技术制造的周期性金属纳米结构。
机译:通过激光干扰与随后的蚀刻制造的周期性微结构
机译:用于制造二维周期性结构的激光干涉光刻的建模和工艺设计