Laboratory for Micro-optics, Institute of Microsystem Technology (IMTEK), University of Freiburg, Georges-Koehler-Allee 102, D-79110 Freiburg, Germany;
micro-optics; optical testing; interferometry;
机译:数字全息显微技术,用于微光学和MOEM中的比较计量
机译:离子交换微光学透镜的制造公差和计量要求:什么才够好?
机译:离子交换微光学透镜的制造公差和计量要求:什么才够好?
机译:微光学计量使用先进的干涉测量法
机译:使用两个和多个波长相移干涉仪和低相干源的反射和透射光学计量。
机译:工业标准计量对底层粗糙度影响的高级测量和诊断
机译:低相干干涉法,工业光学计量学的先进技术