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Silicon slot waveguides for nonlinear optics

机译：用于非线性光学的硅缝隙波导

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摘要

Slot waveguides are designed for silicon-based nonlinear optics. The critical processes in manufacturing such waveguides are lithography, etching and slot filling. Their effects on the properties of the waveguides are studied.
机译：缝隙波导设计用于基于硅的非线性光学器件。制造这种波导的关键过程是光刻，蚀刻和缝隙填充。研究了它们对波导特性的影响。

著录项

  • 来源
    《Optical components and materials VI》|2009年|72120T.1-72120T.9|共9页
  • 会议地点 San Jose CA(US)
  • 作者

    A. Saeynaetjoki; L. Karvonen; A. Khanna; T. Alasaarela; A. Tervonen; S. Honkanen;

  • 作者单位

    Helsinki University of Technology (TKK), Micro and Nanosciences Laboratory, Micronova, Tietotie 3, FI-02015 Espoo, FINLAND;

    Helsinki University of Technology (TKK), Micro and Nanosciences Laboratory, Micronova, Tietotie 3, FI-02015 Espoo, FINLAND;

    Helsinki University of Technology (TKK), Micro and Nanosciences Laboratory, Micronova, Tietotie 3, FI-02015 Espoo, FINLAND;

    Helsinki University of Technology (TKK), Micro and Nanosciences Laboratory, Micronova, Tietotie 3, FI-02015 Espoo, FINLAND;

    Helsinki University of Technology (TKK), Micro and Nanosciences Laboratory, Micronova, Tietotie 3, FI-02015 Espoo, FINLAND Helsinki University of Technology (TKK), Micro and Nanosciences Laboratory, Luxdyne Ltd, Tietotie 3, FI-02015 Espoo, FINLAND;

    Helsinki University of Technology (TKK), Micro and Nanoscien;

  • 会议组织
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
  • 关键词

    nonlinear optics; integrated optics; silicon-on-insulator;

    机译：非线性光学集成光学绝缘体上硅;
  • 入库时间 2022-08-26 13:44:38

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