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Testing and measurement of microlenses

机译:微透镜的测试和测量

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摘要

Abstract: Microlenses and microlens arrays present challenging measurement problems to manufacturer and user alike. Standard techniques designed for testing larger optical components are impractical for lenses with dimensions of only a few hundred micrometers. We present several methods for characterizing the wavefront, focal length, surface profile, and other parameters of microlenses and microlens arrays. The use of Mach-Zehnder and Twyman-Green interferometers for wavefront and focal length measurement are discussed in some detail. !12
机译:摘要:微透镜和微透镜阵列给制造商和用户带来了挑战性的测量问题。设计用于测试较大的光学组件的标准技术不适用于尺寸仅为几百微米的透镜。我们提出了几种表征微透镜和微透镜阵列的波前,焦距,表面轮廓和其他参数的方法。详细讨论了将Mach-Zehnder和Twyman-Green干涉仪用于波前和焦距测量的方法。 !12

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