NASA Goddard Space Flight Center;
microshutter; MEMS; RIE; DRIE; micro-optics; near infrared; space telescope; flip chip bonding;
机译:MEMS:微快门阵列可帮助太空望远镜的时光倒流
机译:研究具有大阵列和复杂元素几何形状的光学MEMS器件的远场衍射的简单数值方法
机译:通过发射和在轨环境测试,验证将MEMS固体推进剂推进器阵列应用于太空的MEMS制造工艺
机译:复杂MEMS设备:用于空间应用的MicroShutter阵列系统
机译:低温下基于MEMS的氮化硅薄膜材料和器件,用于太空应用。
机译:基于微机电系统(MEMS)的生物医学应用微流控设备
机译:MEMS MEMS MicroShutter阵列系统为James Webb太空望远镜
机译:用于James Webb太空望远镜的mEms microshutter阵列系统