laser - produced plasma; plasma radiation; photoionization; EUV and SXR optics;
机译:等离子体空间轮廓对EUV光刻激光产生等离子体源转换效率的影响
机译:用于HVM EUV光刻的激光生产的基于锡等离子体的EUV光源技术的开发
机译:选择激光产生的等离子体软X射线源的目标元素
机译:激光产生的等离子体EUV和软X射线源的光学系统
机译:明亮相干超快速桌面光源的开发以及EUV在软X射线吸收光谱学中的应用。
机译:使用紧凑型激光等离子体软X射线源的2 axialnm轴向分辨率的光学相干断层扫描(OCT)
机译:CO 2 sub>激光产生等离子体光学光刻的EUV光源的研制
机译:高级源开发和应用。激光产生的等离子体:具有高峰值亮度的紧凑型软X射线源。