MEMS; resonant frequency; damping factor; Distortion analysis; sampling measurement;
机译:基于谐波采样分析方法的基于MEMS的能量采集器的谐振频率表征
机译:基于MEMS的应变工程装置表征应变诱导的多壁碳纳米管的电阻特性
机译:用于MEMS静电谐振器的基于第二谐振谐振特征方法
机译:基于电谐波畸变分析的新方法用于MEMS器件的机电表征
机译:探索新型硅器件,以实现用于公用事业(水,天然气和电力)监控的基于MEMS的微系统。
机译:基于微机电系统(MEMS)的生物医学应用微流控设备
机译:基于MEMS的应变应变工程装置应变诱导多壁碳纳米管的电阻表征