Ein integrierter Sensor zur Positionsbestimmung weit entfernter Lichtquellen auf SOI-Basis

摘要

Integrierte optische Sensoren nutzen ublicherweise einen pn-Ubergang zur Detektion optischer Signale. Zusatzliche optische Komponenten sind in integrationstechnischen Standards aufgrund der hohen Kosten typischerweise nicht enthalten. In diesem Beitrag wird ein Konzept vorgestellt, dass es ermoglicht, den Einfallswinkel weit entfernter Lichtquellen relativ zur Chip Oberflache bzw. relativ zum Koordinatensystem der integrierten Struktur zu bestimmen. Das Prinzip macht sich sowohl die Topologie der Metallschichten und deren Lichtundurchlassigkeit, als auch die Lichtdurchlassigkeit von SiO_2 und die Lichtsensitivitat des pn-Ubergangs zunutze. Die Implementierung des Konzeptes ist in SOI CMOS Technologie besonders einfach. Mit geringen Modifikationen ist es jedoch auch in anderen Integrationstechnologien umsetzbar.