189×600 SPAD 画素を用いた車載LiDAR 向け積層型 直接Time-of -Flight 方式測距センサー

摘要

先進運転支援システム（ADAS）の普及や自動運転（AD）の実現に向けて、高解像度で検知が可能なLiDAR の重要性が高まっている。本稿では、SPAD 直接ToF 方式を用いた測距センサーと評価用として開発したMEMS 方式のLiDAR システムについて報告する。裏面照射型の画素技術により、高感度SPAD 画素と測距処理回路を積層した1 チップで実現し、太陽光の影響がある117klux の外乱光環境下において測定距離200m を達成した。