189×600 SPAD画素を用いた車載LiDAR向け積層型直接Time-of-Flight方式測距センサー

摘要

先進運転支援システム(ADAS)の普及や自動運転(AD)の実現に向けて、高解像度で検知が可能なLiDARの重要性が高まっている。本稿では、SPAD直接ToF方式を用いた測距センサーと評価用として開発したMEMS方式のLiDARシステムについて報告する。裏面照射型の画素技術により、高感度SPAD画素と測距処理回路を積層した1チップで実現し、太陽光の影響がある117kluxの外乱光環境下において測定距離200mを達成した。