液体微小流量校正装置における密閉式秤量容器の導入と評価

摘要

液体用流量計またはポンプの校正に際して，校正装置で求めた標準流量とその標準流量に対する流量計の指示値またはポンプの設定値が比較される．校正装置における標準流量の発生方法の一つとして，流量計を通過，またはポンプから発生した連続流を秤量容器に取り込み，時間経過とともに増える秤量値（時間に対する秤量値の変化率）から標準流量を求める動的秤量法は，微小流量範囲でよく用いられる．しかしながら，動的秤量法において，注入ノズルと接液との相互作用（表面張力や浮力効果など）（Fig. 1参照），長時間取込における蒸発誤差（Fig. 2参照）等の問題点があり，これまでの先行研究で様々な工夫がなされている．