時空位相シフト法による光干渉縞の高精度位相解析

摘要

レーザ干渉計は，様々な光学系により物体の表面形状から流体の密度等の測定や波観測に利用することができる技術である.しかし，この測定法は測定感度が高く，干渉縞を観察しせい一方で，振動に弱いことやレーザ出力が変動しせいことなどによる影響を受けやすいという課題点がある.そのため，外乱の影響を受けやすい環境下であっても干渉縞の位相を高精度に解析できる技術開発は重要となる.