Au積層形成技術による3軸MEMS加速度センサの検討

摘要

MEMS（microelectromechanical systems）技術による慣性センサの小型化に伴い，近年，さまざまな電子機器にMEMS加速度センサが組み込まれている。特に，携帯型の電子機器においては，現状の加速度センサに対しても更なる小型化·多軸化が期待されている。静電容量型MEMS 加速度センサの小型化へ向け，我々はこれまでに1軸および2軸の各検出方式について理論解析を行い，作製プロセスを検討した。特に，高密度な金属を錘とした慣性センサを用いることで機械的雑音（Brownian Noise，以下B_N と記載）を低減し，センサの高感度化と小型化を両立可能な手法を提案した。また，広い加速度検出範囲を有する高感度MEMS加速度センサを実現するため，CMOS （complementary metal-oxide semiconductor）センサ回路上に小型加速度センサを複数個集積したアレイ型CMOS-MEMS加速度センサも検討している。