A-C:H films; MFPUMST; Bias voltage;
机译:溅射电流对MFPUMST沉积类金刚石碳膜结合结构和力学性能的影响
机译:PECVD沉积的a-C:H:F薄膜的生长及其微观结构与力学性能的关系
机译:密度和键合结构对等离子体沉积a-C:H薄膜介电常数的影响
机译:MFPumst沉积的A-C:H薄膜粘接结构与力学性能的影响
机译:溅射沉积的氮化物和氧化物超晶格薄膜的结构,力学性能和热性能
机译:包埋氦气对Film膜微结构和力学性能的影响
机译:在RF偏置条件下沉积的A-C:H薄膜对向列液晶的对准效果