熱処理したFe_3O_4/Crスパッタ積層膜の垂直磁気異方性

机译：热处理Fe_3O_4 / CR溅射层压膜的垂直磁各向异性

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熱処理したFe_3O_4/Cr積層膜が垂直磁気異方性を示すことを報告した.熱処理温度を上げると積層膜の飽和磁化がFe_3O_4のバルタ値を超えるほどに上昇し，400°C程度の熱処理で大きな垂直磁気異方性を示すことが分かった.XPSスぺクトルの解析から積層膜中ではFe_3O_4層からCr層へOが移動し金属Fe層が析出している様子が見られた.今回得られた垂直磁気異方性は金属Fe層と酸化Fe(もしくは酸化Fe-Cr)層の間に生じる界面異方性によるものであると考えられる.

机译：热处理的Fe_3O_4 / Cr层压膜表明垂直磁各向异性。当热处理温度增加时，层压膜的饱和磁化量增加，以超过Fe_3O_4的BALTA值，以及约400°C的热处理很大。发现垂直的磁各向异性。从XPS光谱的分析，O从Fe_3O_4层移动到Cr层，沉积金属铁层。获得该时间垂直磁各向异性被认为是垂直磁各向异性的由于金属铁层和氧化的Fe（或氧化Fe-Cr）层之间产生的界面各向异性。

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来源
《マルチメディアストレージ研究会》|2019年|125 p.|共4页
会议地点
作者
大島　大輝; 加藤　剛志; 岩田　聡;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类一般性问题;
关键词
スパッタ成膜; 垂直磁気異方性; 人工積層膜; Fe_3O_4; XPS;

机译：溅射沉积;垂直磁各向异性;人工层压膜;FE_3O_4;XPS;

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