電気泳動堆積法により作製される樹脂-セラミックス複合膜の電気絶縁特性及び熱伝導特性

摘要

PDMS系ハイプリッド材料とアルミナを原料として作製される各種電気泳動堆積膜について，熱伝導率，電気絶縁特性について測定を行い，堆積膜の構造との相関を調査し低下の知見を得た。(1)堆積膜原料の違い（アルミナ形状やPDMS分子量の違い）により，堆積膜中のアルミナ/バインダ/空孔の割合は変化することを確認した。(2)堆積膜の絶縁特性は，堆積膜中の空孔率が大きくなるほど低下することを確認した。