同軸円筒型電極内ナノ秒パルス放電の進展過程と換算電界の経時推移

摘要

浪平?王らは近年，パルス幅5 ns の高電圧パルスを発生可能なナノ秒パルス電源を開発した．その放電主形態は放電過程の中で最も高い電界を有するストリーマヘッドの電極間進展（1 次ストリーマ）であるため，熱損失が小さく，オゾン生成などで特に高い処理効率を達成している．しかしながら，その放電中の換算電界（E/N）は未解明であり，更なる処理性能の向上のためにはE/N を明らかにし，所望の活性種を効率的かつ選択的に生成する必要がある．