合成波長光コム２色干渉計によるリアルタイム空気ゆらぎ補正形状計測法の開発

摘要

高精度な光学的測定において、空気屈折率補正は必須である。我々は、2 波長の光学距離を用いて自己補正を行う２色法に光コムを適用した高精度な距離測定法を開発し、これまでに長期的な環境変動や、急激な環境ゆらぎに対して、10~（-9） オーダーでの超高精度補正に成功した。さらに、本手法を形状計測に適用するための検討を行い、変位測定に対する有効性を示した。本研究では２色法と合成波長干渉法を組み合せることで、形状計測の適用範囲の拡大を行った。