MEMS 双安定光位相変調器を使用した場合の位相多重ホログラフィーによ るデジタルデータの書き込みと読み取りの検討

摘要

MEMS 技術により光反射表面の位置を光の波長より十分短い精度で設定する双安定光位相変調器 1)を検討している。マイクロミラーは、片持ち梁停止版により上位置、または下位置に停止?安定 する2 安定状態をとり、それらの位置間を高速スイッチング移動する。マイクロミラーがいずれ かの安定状態において、バイアス電圧(Vbias)によりマイクロミラー可動構造体から片持ち梁停止 板に作用する静電引力により片持ち梁停止板がしなり、マイクロミラーはその静電引力と片持ち 梁のばね復元力が釣り合った高さに停止し2)、ミラー表面で反射していく光の光路長を決める。 マイクロミラーを2 次元配列し、マイクロミラーが下位置または上位置にある状態をデジタルデ ータの論理1、論理0 に対応させ、光位相変調の有り、無しによる反射光面画像を生成する。