（平成29 年度学術賞受賞講演） 導電性材料と触媒材料を集積化したセラミックセンサ技術の研究

摘要

電子材料としての導電性セラミックスは、室温から高温まで、抵抗材、センサ部材、高温配線部材等の様々 な応用へ使われている。熱電式ガスセンサは、熱電薄膜とセラミック触媒をマイクロデバイスに集積化し、 触媒燃焼による局部的な温度差をゼーベック効果で電圧に変換すえる新しい原理のデバイスである[1]。