ドロップチューブプロセスを用いた InSb 単結晶微粒子生成に対する融液温度と凝固時間の影響

摘要

我々は前回の大会において，ドロップチューブプロセスを用いたInSb微粒子の単結晶化に対するFe添加の有効性について報告した1)．しかし，本プロセスによるIII-V族化合物半導体InSb 2元微粒子の単結晶生成条件については未解明である．また，ドロップチューブ実験では落下中の凝固時間の精密計測ができないという問題を有する．本研究は，InSb 2元融液の落下前の融液温度および凝固時間と微細構造の関係について調査し， InSb単結晶微粒子生成の支配因子について検討することを目的とした．