(0242)分析電子顕微鏡法の開発初期とその発展－微小領域X線分光法－

摘要

試料に入射した電子と物質の相互作用の結果として、試料から種々の信号が出てくる。それらを利用して、電顕による局所形態を観察しつつ、その視野との対応をとりながら、組成分析や構造解析を行うことを分析電子顕微鏡法（AEM）と呼hでいる。電子線を細く絞ったプローブとして入射させるので、TEMだけでなくSTEMやSEMと組み合わせることも多い。AEMの定義はあいまいで、極微電子回折（ナノ電子回折）や収束電子回折（CBED）などもAEMの機能として扱われることが多い。今回の発表では微小領域からのＸ線分光法、とくにTEMにおけるエネルギー分散型Ｘ線分光について報告する。