(532-0004)自由エネルギー減少最大則に基づく(Sn-Zn)/Cu 接合対の優先成長相の予測

摘要

半導体実装用Pb フリーはhだの接合界面における長期信頼性をより深く理解するには、はhだの主成分であるSn と電極（Cu もしくはNi）との間で生じる金属間化合物の優先相とその生成順序を正確に予測することが不可欠である。近年、いくつかの成分系で自由エネルギー減少最大則に基づいた予測が可能であることが示され、注目を集めている1-2)。本報告では、従来の理論では優先相の予測が難しかった(Sn-Zn)/Cu 拡散対を題材に、本則に基づいて優先相とその生成順序を予測する。