Simulationsgestutzte Auslegung und Fertigung von werkzeugintegrierten induktiven Sensoren

摘要

Am Institut fur Mikroproduktionstechnik wird ein neuartiger induktiver Sensor zur Messung des Flanscheinzugs wahrend des Tiefziehprozesses entwickelt. Dieser zeichnet sich vor allem durch die Verwendung eines Stahlsubstrates als Sensorschutz aus, wodurch einerseits eine hervorragende Bestandigkeit gegenuber Verschleiss und Druck gewahrleistet werden kann, andererseits allerdings die Sensorempfindlichkeit deutlich minimiert wird. Zur Sicherstellung eines ausreichenden Messsignals wird die Optimierung des Sensorlayouts anhand einer Finite-Elemente-Analyse (FEA) vorgenommen. Im Rahmen dieser Arbeit werden der Auslegungsprozess des Sensors sowie die Prozesskette zur Sensorfertigung vorgestellt. Vorgenommene Messungen mit den hergestellten Sensoren belegen die Tauglichkeit des vorgestellten Systems.