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【24h】

Niedertemperatur-Verbindungstechnik fur Sensorsysteme mittels Transient-Liquid-Phase Bonding

机译:使用瞬态液相键合的传感器系统低温连接技术

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摘要

Diese Arbeit befasst sich mit dem Transient-Liquid-Phase Bonding mit einem System aus Ag und Sn. Durch die isotherme Erstarrung bei ca. 250°C kann eine Verbindungsschicht erzeugt werden, die bis zu Temperaturen >350°C stabil ist. Da die Materialeigenschaften solcher Legierungen weitgehend unbekannt sind, wurden anhand von galvanisch abgeschiedenen Folien Charakterisierungen unternommen. Dabei wurden unter Temperatureinfluss die mechanischen (E-Modul und CTE) sowie elektrischen Eigenschaften untersucht. Anhand der FEM-Simulation eines siliziumbasierten Drucksensors konnte das mechanische Materialmodell validiert werden.
机译:这项工作涉及与Ag和Sn的系统的瞬态液相键合。由于约250℃的等温凝固,可以产生连接层,其稳定至温度> 350℃。由于这种合金的材料特性很大程度上是未知的,因此在电沉积的薄膜的基础上进行特征。在温度影响下检查机械(E模块和CTE)和电性能。基于基于硅的压力传感器的有限元模拟,可以验证机械材料模型。

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