Selbstjustierendes Wachstum von 3D Nanobruckenverbindungen

摘要

Dieser Beitrag beschreibt einen selbstjustierenden Nanodrahtbondprozess zur Erzeugung freistehender, elektrisch leitfahiger Punkt zu Punkt Verbindungen. Nanodrahtdurchmesser von 200 nm und Kontaktpads mit 1 μm Durchmesser werden gezeigt. Zudem ist der Prozess parallel ablaufend, was einen hoheren Durchsatz im Vergleich zu den bestehenden seriellen Drahtbond-Methoden erzielt. Der gezeigte Prozess basiert auf einer Methode, die sich am besten als "Gasphasen Elektrodeposition" beschreiben lasst. Das geladene Quellenmaterial scheidet sich immer dann ab, solang in bestimmten Gebieten auf dem Substrat die Ladungen abfliessen konnen, was schlussendlich auch zu ausgedehnteren Strukturen fuhrt, als jene, die in der flussigen Elektrodeposition beobachtet werden konnen.