Doppelresist-Prozess zur Herstellung eines Mikro-Thermogenerators im cross-plane Design mit reflowgeloteten Kontakten

摘要

Thermoelektrische Generatoren sind in der Lage, autarke kabellose Sensorsysteme mit Energie zu versorgen. Im vorliegenden Beitrag soll die Auslegung und Fertigung eines mikro-cross-plane Thermogenerators mit elektrochemisch abgeschiedenen Materialien vorgestellt werden. Als n-Material wird Bi_2Te_3 verwendet, wahrend Cu als p-Material eingesetzt wird. Um beide Materialien auf Startschichten zu realisieren, welche sich auf dem selben elektrischen Potential befinden, wurde ein Prozess mit zwei Photolacken entwickelt. SU-8 ist hierbei ein Permanentlack, wobei ein zweiter Lack zweifach auf SU-8 auflaminiert wird. Die oberen elektrischen Kontakte, um die 71 Thermopaare elektrisch seriell zu verbinden, werden durch Flip-Chip Bonden eines zweiten Si Chips mit Lotpaste realisiert. Messungen der Leerlaufspannung des Generators sowie des thermischen Widerstandes werden gezeigt.