Elektromigrationserscheinungen in zukunftigen digitalen Schaltungen

摘要

Elektromigration stellt ein in zunehmendem Masse zu berucksichtigendes Problem in der Mikroelektronik dar. Durch die fortschreitende Strukturverkleinerung mit immer geringeren Leiterquerschnitten nimmt die Stromdichte stetig zu, was zu verstarkten Elektromigrationserscheinungen fuhren wird. Verschiedene Technologien mussen in zukunftigen digitalen Schaltungen eingesetzt werden, um trotz hoher Stromdichten die gewunschte Lebensdauer zu erreichen.